中韩AMHS技术融合:同舟共济,共赴未来!

中韩携手共建

为未来AMHS技术描绘新蓝图

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2023年8月22日至25日,苏州新施诺半导体设备有限公司与全资子公司韩国SynusTech核心技术团队在苏州召开了技术研讨会,专注于下一代天车的技术升级和OHT Demo Line的相关事宜。

本次研讨的核心内容是提高下一代天车的车体性能和响应速度以及OHT Demo Line的具体进展情况。研讨过程中,双方对产品展现出了坚定的信心,共同的目标和追求让这场技术研讨更为顺利!

双方共同表示,通过本次深度的技术融合,为下一代天车技术创新带来更为显著的突破,更全面地满足市场和用户的需求与期待!

 

 

核心团队合影

 

 

(中国核心团队与韩国核心团队合照)

技术融合,协同前进,市场前景光明

 

 

中韩激情研讨技术现场)

随着中韩双方的深入研讨与交流,AMHS整体解决方案呈现出前所未有的潜力和希望。真正的技术创新在于细节的打磨和完美的融合,而这次的合作正是此目标的见证。

新施诺秉承着抓住市场的决心,国内首代新产品将在10月亮相,为整个国产化天车行业设置新的标杆。对于AMHS整体解决方案的未来,新施诺充满信心!

 

OHT (空中搬送系统)

 

 

OHT用于半导体生产工艺中的FOUP、FOSB、SMIF POD等搬送,  轨道安装在无尘室天花板下方,  具有移动及装载功能,车型丰富、可靠性高。

Stocker (存储库)

 

 

保管半导体生产环节中各类载具,重复定位精度≤±1mm,洁净等级高,模块化设计程度高,方便客制化,灵活适应各个现场环境。

HT   (高速塔)

 

 

安装在半导体工厂中跨楼层区域, 用于上下运送FOUP等载具。传输速度高,Up/Down Speed Max.250m/min,并且可在楼层间进行载具缓存,极大提高运输效率。

lHT (本地吊运转移)

 

 

半导体工艺中EQ与EQ间直线区域上运送的设备,用于搬送FOUP, FOSB, M/Z, Tray,Cassette等物品。轨道简洁,运行速度快。

Bank Stocker (存储设备)

 

 

用于封装和测试环节物料存储和运输,存储量巨大可达到1000储位,可嵌入Sorter设计,方便wafer test环节。

SIS (存储器内部分类器)

 

 

Stocker和Sorter的结合设备。FOUP/FOSB储存和运输,具有 FOUP/FOSB晶圆分选功能。

FIO(天车对接手动口)

 

 

配合OHT系统的手动IN/OUT口,占地面积小,可移动设计,布置非常灵活。

Conveyor(传送带)

 

 

可以水平运输Foup、Cassette等,也可以用作物料buffer。具备直线、旋转多种模块,实现柔性化组合,旋转速度5sec / 90º和8sec / 180º,直线速度最大30m/min。

 

 

 

 

 

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