Stocker

作为工艺间物流传输系统，负责Cassette的存储和传输功能

▪ Fast, Efficient Storage and Retrieval

▪ AGV/MGV/OHS Compatible I/O Port

▪ SECS/HSMS/GEM Compatible

▪ Contact-less Power Supply

▪ Payload                      Max. 2,000kg

▪ Speed                         Max. 210m/min

▪ Forking Time               7 sec ~ 12 sec

▪ Cleanliness                 Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)

OHS (Over Head Shuttle)

为了有效地利用空间，安装在天花板下方的轨道上，在需要长距离和大量传输的区域进行Cassette传输。

▪ Minimum Curve Radius

▪ Compatible with High Cleanliness

▪ High Efficiency

▪ Compact and Slim Design

▪ Payload                      Max. 2,000kg

▪ Speed                         Max. 210m/min

▪ Cleanliness                 Class 10@0.1㎛(with Exhaust Filter)

OHT (Overhead Hoist Transport)

为了有效利用空间，这种物流设备安装在天花板下方，可以直接将传输物在需要长距离和大量传输的区域送到工艺设备。

▪ Direct Interface With Stocker To Process

▪ Equipment or Buffers

▪ Rail Type : Single Rail

▪ Routing Device : Turn Table/Rail Shifter

▪ Use For Cell To Module Transfer

▪ Payload                      Max. 600kg

▪ Traveling Velocity       Max. 180m/min

▪ Hoisting Speed           Contact-less Power Supply

▪ Gripper Base                 

RGV (Rail Guided Vehicle)

根据轨道将Cassette在工艺设备、Stocker和Buffer之间进行传输。

▪ Excellent Substitute for AGV System

▪ Direct Interface with Process Equip. or Buffers

▪ Payload                      Max. 2,000kg

▪ Speed                         Max. 210m/min

▪ Forking Time                 7 sec ~ 12 sec

▪ Cleanliness                 Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)

AGV (Automated Guided Vehicle)

无人搬运设备，可以在工艺设备的Stocker和Buffer之间自由地传输Cassette

▪ Excellent & Flexible Delivery System

▪ Direct Interface with Process Equip. or Buffers

▪ Steering Wheel Drive

▪ Auto Charging System

▪ SCARA or Slide Fork

▪ Payload                      100 ~ 1,500kg

▪ Speed                         Max. 60m/min

▪ Forking Time               15 sec ~ 32 sec

▪ Cleanliness                 Fab -Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)                                                            Pkg -Class 1000@0.5㎛(Anti-Particle Design)

OHCV (Curved) 

为了高效利用空间，通过顶部将Cassette从一个Stocker传输到另一个Stocker。

▪ Application of Curved Rail

▪ Reducing Number of Carriage

▪ Short Cycle Time

▪ Easy to Configure Layout

▪ Payload                      Max. 2,000kg

▪ Speed                        Max. 180m/min

▪ Power Supply            Contact-less Power Supply

▪ Cleanliness                Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)

Clean Lift

在FPD工艺中，该设备用于在楼层间或楼层内有台阶的地方垂直运输Cassette

▪ AGV/RGV/OHCV/STK Compatible I/O Port

▪ High Efficiency

▪ Optimize Safety Interlock

▪ Payload                      Max. 3,000kg

▪ Speed                         Max. 120m/min

▪ Stroke                         Max. 97m

▪ Cleanliness                 Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)