SEMI OHT (半导体-天车)

Overhead Hoist Transport

​​​​​​OHT即空中走行式搬送车，用于各工艺设备间FOUP的搬送，是半导体工厂实现fully auto的主要设备

▪ 提升生产效率

▪ 降低人力成本

▪ 节省厂房空间

▪ 搬运载具                     FOUP, FOSB, SMIF POD, Cassette

▪ 负载                            Max.15Kg

▪ 直线速度                     Max.5.3m/s

▪ 曲线速度                     Max.1m/s

▪ 加速/减速                    2m/s² / 3m/s²                                 

▪ 取放时间                     <9s@h2.7m

▪ 停止精度                     ±1mm

▪ 转弯半径                     500mm（客制化可实现450mm）

▪ 车体重量                     116Kg

▪ 洁净等级                     Class 10 @ 0.3㎛

▪ 振动                             ≤0.5Kg

▪ 车体尺寸                     870(长) × 460(宽) × 895(高)

▪ 选配型号                     轨道清扫车，实现自动清洁轨道

SEMI Stocker（半导体-存储库）

Stocker 用于存储晶圆盒

▪ 自动存取

▪ 自动物料管理

▪ 提高空间利用率

▪ 搬运载具                      FOUP, FOSB, SMIF POD, Megazine,Reticle POD,

                                       Tray, Cassette/Open Cassette

▪ 负载                             Max.15Kg

▪ 走行速度                      Max.2.2m/s

▪ 升降速度                      Max.2.1m/s

▪ 回转速度                      Max.120°/s

▪ 叉取时间                      3.5s

▪ 取放精度                      ±0.5mm

▪ 尺寸                             可根据客户需求定制

▪ 洁净等级                      Class 10 @ 0.3㎛              

▪ 振动                             ≤0.5G

▪ 供电方式                      拖链 或 非接触式供电

SEMI HT（半导体-跨层高速塔）

High-speed Tower

高速塔，用于跨楼层传输和存储

▪ 可对接OHT/AMR

▪ 搬送工具                     FOUP, FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray,Cassette

▪ 高度                            Max.60m

▪ 上/下速度                    Max. 4.16m/s

▪ 加速度                         Max.2m/s²                               

▪ 重复精度                      ±1mm

▪ 洁净等级                     Class 100 @ 0.5㎛

▪ 振动                             ≤0.5G

▪ 特点                             可双传送（2 FOUP）

▪ 供电方式                      非接触式供电

OHB（空中缓存）

Overhead Buffer

▪ 支持OHT自动存取

▪ 减少地面空间占用

▪ 设备用途                         空中缓存

▪ 存储载具                         FOUP,FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray

▪ 存储数量                         4储位（可定制）

▪ 载荷                                Max.15Kg

▪ 洁净等级                         Class 10 @ 0.3㎛

▪ 特点                                可适配第三方OHT系统

▪ 提高生产效率

▪ 安装灵活，扩展便捷

▪ 设备用途                         空中缓存、监控温度、净化保护

▪ 存储载具                         FOUP,SMIF POD

▪ 存储数量                         4储位（可定制）

▪ 控制模式                         流量控制

▪ 载荷                                Max.15Kg

▪ 洁净等级                         Class 10 @ 0.3㎛

▪ 特点                                Recipe可定制

Manual Station（FOUP/Pod-人工取放站）

天车系统人工取放口

▪ 位置灵活配置

▪ 用于人工取放天车运送的物料

▪ 搬运载具                          FOUP, FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray,Cassette/Open Cassette

▪ 设备用途                          天车系统人工取放口

▪ 速度                                 Max.0.9m/s

▪ 洁净等级                          Class 100 @ 0.3㎛

▪ 特色                                 可选带缓存类型、穿墙类型

▪ 信息识别                          可选条码/RFID/Smart Tag

SEMI Conveyor（半导体-传输线）

通过多种单元（旋转、直线传输、对接等）组合实现多功能传输

▪ 准确定位物料设备

▪ 确保物料输送安全

▪ 搬运载具                             FOUP,FOSB,SMIF POD

▪ 负载                                    15Kg

▪ 直线速度                             Max.1m/s

▪ 旋转速度                             100º/s

▪ 振动                                    ≤0.5G

▪ 定位精度                             ≤±1mm

▪ 驱动马达                             步进电机

▪ 传动机构                             皮带

▪ 爬坡                                    可支持

▪ 洁净等级                             Class 100 @ 0.3㎛

▪ ID识别                                 In put & Out put

Reticle Pod VHL (光罩天车)

▪ 搬运载具                     Reticle POD

▪ 负载                            Max.2.5Kg

▪ 直线速度                     Max.3.3m/s(光罩区域：Max.1.6m/s)

▪ 曲线速度                     Max.1m/s(光罩区域：Max.0.5m/s)

▪ 加速/减速                    2m/s² / 3m/s² (光罩区域：Max.1m/s) 

▪ 停止精度                     ±1mm

▪ 转弯半径                     500mm

▪ 转向速度                     0.5s

▪ 旋转                            0~270°

▪ 洁净度                        Class 100 @ 0.3㎛（F.S.209D）

                                     Class 10 @ 0.3㎛（带速度控制）

▪ 车体尺寸                     870(长) × 460(宽) × 787(高) mm

▪ 车体重量                     116Kg

▪ 供电方式                     非接触式供电

PLP OHT (板级封装天车)

Panel Level Package Overhead Hoist Transport

▪ 搬运载具                     Panel FOUP

▪ 负载                            Max.50Kg

▪ 直线速度                     Max.3m/s

▪ 曲线速度                     Max.0.75m/s

▪ 加速/减速                    1.0 m/s² / 1.0 m/s² 

▪ 停止精度                     ±1mm

▪ 转弯半径                     500mm

▪ 转向速度                     0.5s

▪ 振动                            ≤0.5G

▪ 分离/连接方式            车辆自行切换

▪ 洁净等级                     Class 10 @ 0.3㎛

▪ 车体尺寸                     1006(长) × 682(宽) × 1125.47(高) mm

▪ 车体重量                     186Kg（不含载荷）

▪ 供电方式                     非接触式供电

SEMI N2 Stocker（半导体-氮气存储库）

▪ 搬运载具                      FOUP,  SMIF POD, Reticle POD

▪ 负载                             Max.15Kg

▪ 走行速度                      Max.2.2m/s

▪ 升降速度                      Max.2.1m/s

▪ 回转速度                      Max.120°/s

▪ 叉取时间                      3.5s

▪ 取放精度                      ±0.5mm

▪ 尺寸                             可根据客户需求定制

▪ 洁净等级                      Class 10 @ 0.3㎛              

▪ 振动                             ≤0.5G

▪ 供电方式                      拖链 或 非接触式供电

PLP STK（板级封装-存储库）

Panel Level Package Stocker

▪ 搬运载具                      FOUP、 托盘

▪ 负载                             75Kg

▪ 走行速度                      Max.1.7m/s

▪ 加速度                         0.4 m/s

▪ 升降速度                      Max.0.4m/s

▪ 升降加速度                  0.24 m/s²

▪ 叉取速度                      Max.120 mm/s（叉取时间：9s）

▪ 叉取加速度                  0.18 m/s²

▪ 转向速度                      Max.80°/s

▪ 洁净等级                      Class 100@ 0.3㎛              

▪ 供电方式                      非接触供电 或 拖链

MTL（天车维修设备）

Maintenance Lift

▪ 天车投入、取出的升降设备

▪ 设备用途                         OHT维护与维修

▪ 高度                                根据客户层高定制

▪ 上/下速度                        0.33m/s

▪ 升降供电                         拖链

▪ 供电方式                         非接触式供电

▪ 洁净等级                         Class 100 @ 0.3㎛

▪ 安装灵活，扩展便捷

▪ 设备用途                         OHT维护与维修

▪ 高度                                根据客户层高定制

▪ 上/下速度                        0.2m/s

▪ 升降供电                         皮带

▪ 供电方式                         非接触式供电

▪ 洁净等级                         Class 100 @ 0.3㎛

MCS（物料搬送控制系统）

Material Control System

▪ 通过多种单元（旋转、直线传输、对接等）组合实现多功能传输

▪ 深度系统集成与灵活接口

▪ 多AMHS供应商支持

▪ 多协议外部接口

▪ 高可用性与故障容错

▪ 全自动Failover切换

▪ 可在线配置AMHS设备

▪ 在线升级与无缝维护

▪ 数据库容错机制

▪ 系统驱动的AMHS实时优化

▪ 构建物理世界的实时、动态数字镜像，实现预测、优化与决策革命

▪ 可视化运营管理，提升调度效率

▪ 与MES等系统数据联通

▪ 三维动态可视化

▪ 3D动态搬运监控

▪ 异常智能预警

▪ 设备异常醒目标识

▪ 异常数据驾驶舱

▪ 数掴驱动决策

▪ OHT轨迹查看

▪ OHT智能追踪