SEMI OHT (Overhead Hoist Transport)

安装在轨道下方的半导体工艺间物流传输系统

▪ Minimum Turning Radius

▪ Dual Rail Track

▪ OHS & OHT Port Access

▪ Active Slide Architecture

▪ Compact & Slim Design

▪ Carrier Type                     FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette

▪ Curve Track Speed          0.7m/sec@500mm

▪ Elevator Speed                0.9m/sec

▪ Curve Radius                   R500mm (45˚, 90 ˚)

▪ Cleanliness                      Class 10@0.3㎛(Anti-Particle Design)                                

                                           Pkg- Class 1000@0.5㎛

SEMI Stocker

作为工艺间物流传输系统，负责FOUP的存储和传输功能

▪ Superior Cycle Time

▪ Flexible Port Configuration

▪ Optimize Safety Interlock

▪ Contact-less Power Supply

▪ Carrier Type                      FOUP, FOSB, Cassette, Megazine, Tray

▪ Movement Axes                X-axis, Z-axis, Turning, Forking

▪ Forking Time                     Forking Time: 2 sec

▪ Cleanliness                       Fab -Class 10@0.3㎛                                                                                           Pkg- Class 1000@0.5㎛

SEMI HT (High-speed Tower)

安装在半导体工程中有层间或段差区域, 把FOUP上下运送的设备

▪ Double Transport(2 FOUP) System

▪ Short Cycle Time

▪ Fast Moving Speed

▪ Fast Cargo(FOUP, FOSB) System Between Multi Floor

▪ Carrier Type                     300mm FOUP, FOSB

▪ Height                              25 ~ 60m

▪ Up/Down Speed              Max. 250m/min

▪ Cleanliness                      Fab -Class 10@0.3㎛                                

                                          Pkg- Class 1000@0.5㎛

SEMI AGV (Automated Guided Vehicle)

在半导体工程中, 把FOUP及Cassette 等运送物品自动运送到 Stocker或EQ的设备

▪ Excellent & Flexible Delivery System

▪ Direct Int3.erface with Process Equip or Buffers

▪ Payload                             Max. 20kg 

▪ Use to Handle Type           FOUP, FOSB, Cassette, Megazine, Tray

▪ Load/Unloading Time         25~30sec

▪ Traveling Velocity               Max. 56m/min

▪ Cleanliness                        Class 10@0.1㎛                                    

                                             Pkg- Class 1000@0.5㎛

LHT (Local Hoist Transfer)

半导体工程中EQ跟EQ间直线区域上运送的设备

▪ Excellent & Flexible Delivery System

▪ Direct Int3.erface with Process Equip or Buffers

▪ Payload                              Max. 20kg 

▪ Use to Handle Type            FOUP, FOSB, Cassette, Megazine, Tray

▪ Load/Unloading Time          25~30sec

▪ Traveling Velocity                Max. 56m/min   

▪ Cleanliness                         Class 10@0.1㎛

                                              Pkg- Class 1000@0.5㎛                                      

Bank Stocker

Wafer Test  

- Bank(Wafer sorting / Split, Merge)  

- Storing & transport t in bank process during PKG&Test 

▪ Twin S-Master

▪ Storing over 1,000 cell

▪ Sorter Docking 

▪ Carrier Type                     FOUP, FOSB

▪ Movement Axes               X-axis, Z-axis, Turning, Forking

▪ Tact Time                         12 sec (Forking Time: 2 sec)

▪ Cleanliness                      Class 10@0.3㎛(Anti-Particle Design) 

SIS (Sorter In Stocker)

• 包含FOUP / FOSB晶圆拆分，合并功能

▪ Minimized Lay-Out composition is available    (Square shape / Sorter 2 unit composition)

▪ Carrier Type                      FOUP, FOSB

▪ Movement Axes                 X-axis, Z-axis, Turning, Forking

▪ Tact Time                           Forking Time: 2 sec

▪ Cleanliness                       Class 10@0.3㎛(Anti-Particle Design)

FIO (FOUP In Out) System

System for in / out the product (FOUP, FOSB) from OHT

▪ Minimized Lay-Out composition is available    (800mm × 800mm)

▪ Easy to move

▪ Carrier Type                      FOUP, FOSB

▪ Movement Axes                 X-axis, Turning

▪ Speed                                0.25m/sec

▪ Cleanliness                        Class 10@0.3㎛(Anti-Particle Design)

Conveyor

FOUP，Cassette等可以水平移动，并且也可以作为缓冲区进行装载的物流系统

▪ Flexible with Module Unit

▪ Dual Belt for Minimum Tray Contact

▪ Miniaturization / weight lightening

▪ Driving Method                       Induction Motor / Inverter Control

▪ Speed                                     Max. 30m/min

▪ Drive(Turn)                             Servo Motor

▪ Turn Speed                             5sec / 90º, 8sec / 180º

▪ Traveling Speed                     15sec @ Stroke 1435mm

MCS (Material Control System)

从MES接收搬运命令，通过寻找物流设备间的最佳路径来控制各个物流设备的搬运，通过实时监控搬运情况实现全自动化

实时监控工厂内的AMHS设备和物料

支持SEMI标准（SECS，GEM，Stocker-SEM，IB-SEM）

根据工厂情况进行高效的动态路由选择

应用最短路径算法进行最佳搬运路径搜索 为了负载均衡进行负载平衡

基于J2EE平台的OS独立性

Run-Time Patch

Active-Active结构自动故障切换

支持多种DBMS和Middleware

▪ 对应设备                         OHT，Stocker，OHB，Lift，AGV

▪ 基础协议                         IB-SEM / Stocker-SEM

▪ Auto Failover                 Active-Active

▪ Business Logic               BPEL

▪ 可扩展性                         与各种Host / AMHS集成容易