应用于半导体领域的新施诺AMHS系统之-晶圆厂应用场景

NsynuAMHS

AMHS系统用于晶圆的自动化运输，取代传统的人工搬运，实现晶圆工艺中的高效、准确和可靠运输。它将晶圆从一个工序快速而精确地运送到另一个工序，确保制造流程的连续性。

AMHS系统还用于晶圆的存储和管理。它可以提供晶圆载具的存储设备，用于安全存放晶圆。AMHS系统还包括自动化物料管理系统（MCS），MCS能够向工序区内的各个存储和搬送设备发出命令，并跟踪系统内搬送物的走向，同时还可添加额外功能以使其能够灵活满足客户需要。

AMHS系统在晶圆制造过程中的环境控制方面也起着重要作用。它可以提供洁净环境下的晶圆运输和存储，减少尘埃、颗粒物对晶圆质量的影响。AMHS系统还可以降低搬运过程中的振动，保护晶圆的完整性和稳定性。通过优化环境控制，可以提高晶圆的品质。

AMHS系统还能够监测设备状态和执行故障，提供实时的设备运行数据和信息。这有助于及时发现设备异常和故障，并进行维护和修复，以减少生产线的停机时间和生产延误。