新施诺天车操作系统MROS1.0,混合实时架构驱动天车系统革命

随着国内12英寸晶圆产线建设与扩产加速,OHT天车系统已成为晶圆厂高效运转的关键基础设施。行业长期存在一个共性难题:系统既要在关键控制上做到确定性、低时延的实时响应,又要在功能扩展、对接集成与持续升级上保持足够灵活。传统方案往往在两者之间难以兼顾:一方面需要极强的实时控制能力,另一方面又希望具备更开放的开发生态与更高的工程化效率,从而支撑长期演进与快速迭代。
针对这一痛点,新施诺推出新一代天车操作系统 MROS1.0。MROS1.0不是单一架构,而是RT-Linux+RT-Thread的混合架构,通过物理级任务隔离这种架构设计,实现了高灵活性+高实时性的完美平衡,解决了传统架构中"灵活性与实时性难以兼得"的行业难题。该系统以自主可控为底座,面向先进晶圆厂高节拍搬运与存量产线升级场景,围绕“更完善、更稳定、更可控”提供系统级能力,同时兼顾工程化交付与长期运维,为晶圆厂在高节拍与高可靠并行的要求下提供更可持续的解决方案。

(新施诺天车操作系统MROS1.0 核心价值)
聚焦产线核心诉求:更完善、更稳定、更可控
· 低振动与低颗粒物风险:在天车高速运行与频繁启停过程中,摩擦、振动与冲击都可能带来颗粒物风险。天车操作系统MROS1.0通过更平滑的运动过程控制与更精细的策略调度,降低不必要的冲击与抖动,使运行更“柔”、更“稳”,从源头减少颗粒物产生的诱因,为洁净要求更严苛的工艺环境提供支撑。同等工艺环境下,系统在保持效率的同时,可实现颗粒物风险的进一步降低,为晶圆厂洁净生产提供更强保障。
· 关键控制链路强调确定性与低时延:系统整体响应时间≤1ms,执行误差≤1mm,具备高响应速度与精准误差控制能力。
· 工业级可靠性与稳定性保障:通过面向工业场景的可靠性设计与稳定性机制,支持7×24小时连续运行,平均无故障时间(MTBF)可达4000小时以上,满足晶圆厂长期稳定运行要求。
· 更精细的运动控制能力:实时性更高、控制周期更短,使系统能够支撑更精细、更复杂的运动控制策略,在高节拍场景下仍保持更稳定的运行表现与更高效的一致性。

(新施诺天车操作系统MROS1.0丰富的中间层组件)
开放兼容与工程化效率:更易集成、更易维护
晶圆厂系统的价值不仅体现在“跑得快”,更体现在“好集成、好维护、好升级”。天车操作系统MROS1.0在工程化交付与生态兼容方面进一步强化,降低集成复杂度与后期运维成本。
· 原生兼容多种主流工业通信协议:便于与既有AMHS系统高效对接,降低集成复杂度,加快上线节奏。
· 实时与非实时任务分层解耦:天车操作系统MROS1.0实现了非实时业务任务与实时运动控制的解耦与协同-——各自专注所长、互不影响,同时又能高效配合完成整体任务。这样既保证关键控制的确定性与响应速度,又兼顾上层功能的灵活扩展,把“看似矛盾”的实时与灵活转化为系统优势。
· 提升研发迭代效率,降低二次开发成本:依托成熟的开发与调试生态,开发效率提升40%,二次开发成本降低50%,更适配晶圆厂快速迭代与长期演进需求。

(新施诺天车操作系统MROS1.0物理级任务隔离:实时/非实时任务隔离运行)
系统级能力闭环:让搬运更聪明、更高效
天车操作系统MROS1.0提供多类中间层组件与工具包,覆盖多传感器数据处理、任务分配与路径优化、运动控制等关键环节,形成“感知—决策—执行”的闭环协同,帮助天车在复杂动态环境中快速优化策略并精准执行,实现更高效的搬运组织与更稳定的运行效果。

(新施诺MROS1.0全栈闭环能力:感知·决策·执行)
自主可控:以系统能力提升供应链韧性
面向半导体关键装备国产替代需求,新施诺坚持以自主研发的软硬件系统能力构建核心底座,提升关键环节可控性与供应链韧性,为国内晶圆制造提供稳定可靠的本土化解决方案。

(新施诺MROS1.0功能安全设计:工业级可靠性保障)
新施诺天车操作系统MROS1.0的技术迭代,将为智能工厂在效率、可靠性与可控性等关键维度的持续演进提供系统级底层支撑。未来,新施诺将持续深耕AMHS领域关键技术与工程化能力,以更成熟的产品与更稳定的交付,助力中国半导体产业高质量发展。

关于新施诺
About Nsynu

苏州新施诺半导体设备股份有限公司成立于2022年10月,由沈阳新松机器人自动化股份有限公司(股票代码:SZ.300024)、中芯聚源、诺华资本等产业投资人联合牵头成立,注册资本13.18亿元人民币。公司核心产品为AMHS自动物料搬送系统(简称天车系统),业务领域覆盖半导体、面板、新能源电池等高端制造领域。
集团旗下韩国全资子公司SYNUS Tech拥有40余年的技术积累与行业经验,为全球客户提供优质的产品与服务。集团在北京、合肥、无锡均布局业务子公司,专注于半导体国产天车系统的推广应用。作为江苏省“专精特新”企业,公司构建了以国产硬件设备与自主研发的物料搬送控制系统交付体系,围绕效率、精度与稳定性等Fab厂严苛指标持续优化,在国内多个晶圆厂完成国产天车系统整线的交付与验收,凭借技术稳定、客户信赖、经验丰富赢得了强大的市场竞争力和良好的客户口碑,助力中国半导体设备产业国产替代!
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